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APARATO E MÉTODO PARA CRISTALIZAÇÃO DE FILMES FINOS UTILIZANDO FORNO MICROONDAS DOMÉSTICO
| Document type: | Patente |
| Inventor(s): | Carlos Alberto Paskocimas; Elson Longo da Silva; José Arana Varela; Edson Roberto Leite; Jomar Sales Vasconcelos; Nazaré do Socorro Lemos Silva Vasconcelos; Jose Wilson Gomes; Sonia Maria Zanetti |
| Applicant: | Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP) |
| Deposit date: | July 2003, 10 |
| INPI register: | |
| IPC: | H01L 21/02 |
| Grantee: | Elson Longo da Silva |
| Principal Investigator: | Elson Longo da Silva |
| Institution: | Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). Centro Multidisciplinar para o Desenvolvimento de Materiais Cerâmicos (CMDMC) |
| Support Opportunities: | Research Grants - Support for Intellectual Property Rights and Licensing (PAPI/Nuplitec) |