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Equipamento multiusuário concedido no processo 2012/50259-8: evaporadora por feixe de elétrons

Resumo

A evaporadora do tipo e-beam, irá viabilizar os processos de microfabricação dos dispositivos fotônicos integrados aos materiais bidimensionais, como grafeno e dicalcogenetos de metais de transição. Desta forma, a evaporadora e-beam permitirá que se faça a deposição de contatos metálicos em dispositivos do tipo efeito de campo electro-ópticos, sendo estes uma das principais aplicações almejadas no Projeto SPEC- Fotônica em grafeno. (AU)

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