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Equipamento multiusuário concedido no processo 2012/50259-8: evaporadora por feixe de elétrons

Processo: 18/23379-9
Linha de fomento:Auxílio à Pesquisa - Programa Equipamentos Multiusuários
Vigência: 01 de dezembro de 2018 - 30 de novembro de 2025
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
Pesquisador responsável:Eunezio Antonio de Souza
Beneficiário:Eunezio Antonio de Souza
Instituição-sede: Centro de Pesquisas Avançadas em Grafeno, Nanomateriais e Nanotecnologia (MackGrafe). Universidade Presbiteriana Mackenzie (UPM). Instituto Presbiteriano Mackenzie. São Paulo , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:12/50259-8 - Grafeno: fotônica e opto-eletrônica: colaboração UPM-NUS, AP.SPEC
Assunto(s):Fotônica  Evaporadores  Tecnologia de feixe de elétrons  Grafenos  Dispositivos ópticos  Dispositivos eletrônicos  Microfabricação 
As informações de acesso ao Equipamento Multiusuário são de responsabilidade do Pesquisador responsável
Página web do EMU:https://www.mackenzie.br/mackgraphe/pesquisa/equipamento-multiusuario/
Tipo de equipamento:Processos Físicos - Modificação superfícies – etching - Feixes iônicos
Processos Físicos - Litografia - Feixes de elétrons
Fabricante: Mbraun
Modelo: MB Provap Ebeam

Resumo

A evaporadora do tipo e-beam, irá viabilizar os processos de microfabricação dos dispositivos fotônicos integrados aos materiais bidimensionais, como grafeno e dicalcogenetos de metais de transição. Desta forma, a evaporadora e-beam permitirá que se faça a deposição de contatos metálicos em dispositivos do tipo efeito de campo electro-ópticos, sendo estes uma das principais aplicações almejadas no Projeto SPEC- Fotônica em grafeno. (AU)