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Equipamento multiusuário concedido no processo 2012/50259-8 : equipamento de corrosão por íons reativos

Processo: 18/23377-6
Linha de fomento:Auxílio à Pesquisa - Programa Equipamentos Multiusuários
Vigência: 01 de dezembro de 2018 - 30 de novembro de 2025
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
Pesquisador responsável:Antonio Helio de Castro Neto
Beneficiário:Antonio Helio de Castro Neto
Instituição-sede: Centro de Pesquisas Avançadas em Grafeno, Nanomateriais e Nanotecnologia (MackGrafe). Universidade Presbiteriana Mackenzie (UPM). Instituto Presbiteriano Mackenzie. São Paulo , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:12/50259-8 - Grafeno: fotônica e opto-eletrônica: colaboração UPM-NUS, AP.SPEC
Assunto(s):Fotônica  Microfabricação  Dispositivos ópticos  Dispositivos eletrônicos  Deposição de filmes finos 
As informações de acesso ao Equipamento Multiusuário são de responsabilidade do Pesquisador responsável
Página web do EMU:https://www.mackenzie.br/mackgraphe/pesquisa/equipamento-multiusuario/
Tipo de equipamento:Processos Físicos - Modificação superfícies – etching - Feixes iônicos
Fabricante: Reactive Ion-Etcher (RIE)
Modelo: Reactive Ion-Etcher (RIE)

Resumo

Este equipamento permite a fabricação de dispositivos eletro-ópticos utilizando técnica de deposição de filmes finos de espessura atômica. Com ele será possível depositar camadas dielétricas da ordem de alguns nanômetros em estruturas capacitivas baseadas em materiais bidimensionais. (AU)