Estudo de crescimento de filmes finos de diamante de transparência elevada na região espectral desde o ultravioleta até o infravermelho

• Processo: 93/00863-3
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Vigência: 01 de agosto de 1993 - 31 de julho de 1995
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Vladimir Jesus Trava-Airoldi
• Beneficiário: Vladimir Jesus Trava-Airoldi
• Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Deposição química por vapor CVD Filmes finos de diamante Policristais
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Crescimento De Diamante | Deposicao Quimica Na Fase Vapo | Plasma Por Microondas | Policristal | Tecnica - Cvd | Transparencia Optica

Resumo

Com este projeto, deseja-se estudar e obter filmes finos de diamante para aplicações ópticas, utilizando a técnica assistida por micro-ondas. Com base em resultados alcançados em nosso laboratório, com a técnica assistida por filamento quente, usar-se-á uma mistura gasosa de CH4/H2 dopado com CF4. Vários tipos de substratos serão investigados, tais como: sílica fundida, silício, etc. Serão usadas várias técnicas de caracterização. A técnica assistida por microondas foi escolhida por garantir menores índices de contaminação e uma área de deposição relativamente grande, e que, associada à presença de CF4, espera-se, inclusive, obter filmes a baixas temperaturas no substrato. A ligação de novos parâmetros de crescimento com a teoria é, também, parte integrante do presente projeto. (AU)