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Fonte de potência para síntese de filmes finos por pulverização catódica na faixa de kHz - sistema de medição de tensão, corrente e potência

Processo: 18/22595-0
Linha de fomento:Auxílio à Pesquisa - Pesquisa Inovativa em Pequenas Empresas - PIPE
Vigência: 01 de agosto de 2019 - 30 de abril de 2020
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica
Pesquisador responsável:Wagner Henrique Rabelo
Beneficiário:Wagner Henrique Rabelo
Empresa:Intersecta Engenharia Ltda
CNAE: Fabricação de equipamentos e aparelhos elétricos não especificados anteriormente
Município: Sorocaba
Pesq. associados:José Roberto Ribeiro Bortoleto ; Luís Filipe de Moura Santos
Bolsa(s) vinculada(s):19/20980-6 - Fonte de potência para síntese de filmes finos por pulverização catódica na faixa de kHz: sistema de medição de tensão, corrente e potência, BP.PIPE
Assunto(s):Pulverização catódica  Filmes finos 

Resumo

O projeto consiste na conclusão do protótipo comercial de uma fonte de potência (300W), de corrente alternada (600 VAC), operando entre 10 a 40 kHz, responsável por iniciar e sustentar o campo elétrico utilizado para a geração do plasma. Esta fonte será utilizada para a deposição de filmes finos por meio da técnica de magnetron sputtering sendo uma alternativa à tecnologia em rádio frequência, atualmente usada em larga escala no Brasil, que tem um custo maior. (AU)