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Aparato e método para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico

Resumo

Um aparato para processamento de filmes finos utilizando aquecimento por intermédio de um forno microondas doméstico é apresentado. O sistema de tratamento térmico é constituído de forno microondas doméstico, porta amostra, sensor e controlador de temperatura. A cavidade do forno de microondas é utilizada para acomodar o aparato desta invenção. O porta amostra é constituído de uma estrutura fabricada em alumina para colocação do elemento absorvedor de microondas (susceptor), entradas para o sensor de temperatura e controle da atmosfera. Com a utilização deste dispositivo é possível obter filmes finos à baixa temperatura e tempo reduzido, com morfologia homogênea, boa aderência ao substrato e boas propriedades eletrônicas e ópticas. Além de possibilitar o controle da cristalização na interface filme/substrato, possibilitando obter filmes orientados ou epitaxiais e o controle da cristalização na superfície do filme, de forma a obter-se filmes policristalinos. (AU)

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APARATO E MÉTODO PARA CRISTALIZAÇÃO DE FILMES FINOS UTILIZANDO FORNO MICROONDAS DOMÉSTICO PI0302339-7 - Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP) . Carlos Alberto Paskocimas; Elson Longo da Silva; José Arana Varela; Edson Roberto Leite; Jomar Sales Vasconcelos; Nazaré do Socorro Lemos Silva Vasconcelos; Jose Wilson Gomes; Sonia Maria Zanetti - 10 de julho de 2003