Equipamento multiusuário: aquisição de um sistema de litografia de feixes de elétrons raith e-line
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EMU: aquisição de um sistema de litografia de feixes de elétrons raith e-line: nano fabricação de novas gerações de componentes / circuitos fotônicos e eletrônicos

Processo: 09/54064-4
Modalidade de apoio:Auxílio à Pesquisa - Programa Equipamentos Multiusuários
Área do conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
Pesquisador responsável:Newton Cesario Frateschi
Beneficiário:Newton Cesario Frateschi
Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Assunto(s):Fotônica  Informação quântica  Microeletrônica  Telecomunicações 
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Fotonica | Informacao Quantica | Micro Eletronica | Nanofabricacao | Telecomunicacoes
Publicação FAPESP:https://media.fapesp.br/bv/uploads/publicacoes/emu_exa_49.pdf
As informações de acesso ao Equipamento Multiusuário são de responsabilidade do Pesquisador responsável
Página web do EMU: Página do Equipamento Multiusuário não informada
Tipo de equipamento: Tipo de Equipamento Multiusuário não informado
Fabricante: Fabricante não informado
Modelo: Modelo não informado

Resumo

Propomos a compra e instalação de um sistema de litografia de feixes de elétrons de ultra-alta resolução no Centro de Componentes Semicondutores UNICAMP. Este sistema será integrado ao nosso laboratório de Micro e Nano fabricação criando um centro de excelência para a pesquisa e desenvolvimento na área de novos elementos de eletrônica e fotônica integrada. Estes elementos terão forte impacto nas novas tecnologias de ruptura necessárias para o processamento, armazenamento e transmissão de informação. Portanto, este projeto recebe forte apoio de dois Institutos Nacionais de Ciência e tecnologia, um em telecomunicações e outro em informação quântica. (AU)

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