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Pesquisa e desenvolvimento de filmes finos e autosustentados de diamante-CVD de granulametria fina: alta transparência óptica e alta aderência em vários tipos de substratos, inclusive metálicos

Resumo

Deseja-se estudar com mais profundidade o crescimento de filmes finos e auto sustentados de diamante-CVD usando a técnica assistida por Micro-ondas em 2,45 GHz, com Descarga em Guias de Onda, normalmente chamada de SURF ATRON. Esta técnica tem características inovativas, sendo que alguns parâmetros de crescimento foram, pela primeira vez, estudados pelo autor, e cujo resultado mostrou-se muito promissor. Esta técnica é, também, uma extensão da técnica usada no projeto anterior, de onde se baseou com os resultados alcançados. E, com base nesses resultados, é esperado obter filmes finos e auto sustentados depositados em vários tipos de substratos, entre eles o quartzo, o silício, o borosilicato, o carbeto de tungstênio e ligas metálicas especiais, com baixa rugosidade e alta aderência. No caso do quartzo, silício e borosilicato, espera-se obter, também, transparência óptica (UV-VIS-IV) alta, acima de 90% para filmes de espessura de até 3 um. É parte do presente projeto, estudar a dependência de defeitos e stress nos filmes com a aderência destes ao substrato. (AU)

Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre o auxílio:
Patente(s) depositada(s) como resultado deste projeto de pesquisa

FERRAMENTA DE CORTE E PROCESSO DE FORMAÇÃO DESTA PI0103109-0 - Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP) . Vladimir Jesus Trava-Airoldi; Evaldo Jose Corat; João Roberto Moro - 08 de junho de 2001