| Processo: | 11/21345-0 |
| Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Regular |
| Data de Início da vigência: | 01 de abril de 2012 |
| Data de Término da vigência: | 31 de março de 2014 |
| Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos |
| Pesquisador responsável: | Steven Frederick Durrant |
| Beneficiário: | Steven Frederick Durrant |
| Instituição Sede: | Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus Experimental de Sorocaba. Sorocaba , SP, Brasil |
| Município da Instituição Sede: | Sorocaba |
| Assunto(s): | Filmes finos Carbono amorfo Halogênios Implantação iônica Propriedades ópticas Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD) |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Filmes finos | halogenios | implantção iônica | pecvd | Piiid | Propriedades Ópticas | Deposição a Plasma |
Resumo
Serão produzidos por Deposição a Vapor Químico Assistido por Plasma (PECVD) e Deposição e Implantação Iônica por Imersão em Plasma (PIIID) filmes finos de carbono amorfo hidrogenado, halogenado, a-C:H:X, onde X é um halogênio, e similares como a-C:H:Si:X. A estrutura e composição química destes filmes serão caracterizadas por Espectroscopia de Foto-elétrons de Raios-X (XPS) e Espectroscopia no Infravermelho por Transformada de Fourier (FTIR). Propriedades ópticas dos filmes, como o índice de refração, coeficiente de absorção e gap óptico, serão calculados a partir de dados obtidos por Espectroscopia no Ultravioleta-visivel-infravermelho próximo (UVS). É pleiteado um acessório para permitir obter espectros de refletância com o espectrofotômetro, que permitirão estes cálculos mesmo na ausência de franjas de interferência nos espectros de transmitância, que é uma restrição no método comumente empregado. As diferenças tanto nas estruturas e composições químicas dos filmes e nas propriedades ópticas dos materiais obtidas pelas duas técnicas serão examinadas. Medidas de ângulo de contato também serão feitas. (AU)
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