Auxílio à pesquisa 11/51494-8 - Projetos de infraestrutura - BV FAPESP
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RTI - 2011 - Plano anual de aplicação da reserva técnica

Processo: 11/51494-8
Modalidade de apoio:Auxílio à Pesquisa - Reserva Técnica para Infraestrutura Institucional de Pesquisa
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Jose Alexandre Diniz
Beneficiário:Jose Alexandre Diniz
Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Assunto(s):Projetos de infraestrutura 
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Infraestrutura | Microfabricacao | Nanofabricacao

Resumo

Para ampliar as demandas em nanotecnologia no Brasil, as verbas provenientes dos projetos FAPESP, 2010/08822-1 (projeto regular) e 2009/54064-4 (projeto temático), para o CCS/Unicamp possibilitaram um melhor desempenho no sistema FIB e a instalação de um sistema de litografia por feixe de elétrons (RAITH e-line plus), que permitirá gravar estruturas em substratos com dimensões mínimas de 20 nm, respectivamente. Os dois projetos geraram uma reserva técnica institucional junto à FAPESP de cerca de R$ 215.000,00 (duzentos e quinze mil reais). Assim, esta proposta para utilização de Reserva técnica institucional (RTI), visa apresentar a justificativa do emprego desta reserva e o orçamento de como será usada esta verba no CCS/Unicamp. (AU)

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