Micromachined scanner actuated by electromagnetic induction.

• Processo: 02/09654-9
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 12 de novembro de 2002
• Data de Término da vigência: 14 de novembro de 2002
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Mecânica - Projetos de Máquinas
• Pesquisador responsável: Luiz Otávio Saraiva Ferreira
• Beneficiário: Luiz Otávio Saraiva Ferreira
• Instituição Sede: Faculdade de Engenharia Mecânica (FEM). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Scanner Sistemas microeletromecânicos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Liga | Mems | Micromachining | Oscillator | Scanner | Silicon