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Caracterização de filmes finos amorfos produzidos por deposição a vapor químico

Resumo

Está pleiteado o material necessário para permitir a montagem de um sistema de deposição de filmes finos consistindo de uma camara de vácuo equipada com eletrodos e uma fonte, e alimentado com gases via fluxometros de alta precisão. Depois da montagem do sistema serão depositados varias séries de filmes finos de carbono amorfo hidrogenado também contendo nitrogênio ou oxigênio. A estrutura e composição química dos filmes, além de propriedades mecânicas e ópticas, serão determinadas. Estudos fundamentais de filmes depositados de vapores de acetona e éter também são propostos. (AU)

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