SBMicro 2019 - 34th Symposium on Microelectronics Technology and Devices
SBMicro 2023 - 37th Symposium on Microelectronics Technology and Devices
EMU: gerador de padrões ópticos para máscaras litográficas e escrita direta
Processo: | 17/13667-4 |
Modalidade de apoio: | Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil |
Data de Início da vigência: | 28 de agosto de 2017 |
Data de Término da vigência: | 01 de setembro de 2017 |
Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação |
Pesquisador responsável: | Michelly de Souza |
Beneficiário: | Michelly de Souza |
Instituição Sede: | Centro Universitário FEI (UNIFEI). Campus de São Bernardo do Campo. São Bernardo do Campo , SP, Brasil |
Assunto(s): | Dispositivos eletrônicos Nanoeletrônica Microeletrônica Circuitos integrados |
Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Circuitos Integrados | Dispositivos eletrônicos | Microeletrônica | Nanoeletrônica | Microeletrônica |
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