SBMicro 2019 - 34th Symposium on Microelectronics Technology and Devices
EMU: gerador de padrões ópticos para máscaras litográficas e escrita direta
Processo: | 17/13667-4 |
Linha de fomento: | Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil |
Vigência: | 28 de agosto de 2017 - 01 de setembro de 2017 |
Área do conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação |
Pesquisador responsável: | Michelly de Souza |
Beneficiário: | Michelly de Souza |
Instituição-sede: | Campus de São Bernardo do Campo. Centro Universitário da FEI (UNIFEI). Fundação Educacional Inaciana Padre Sabóia de Medeiros (FEI). São Bernardo do Campo , SP, Brasil |
Assunto(s): | Dispositivos eletrônicos Nanoeletrônica Microeletrônica Circuitos integrados |