Fabricacao de elementos opticos difrativos de modulacao completa.

• Processo: 05/52123-2
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 2005
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 2007
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica
• Pesquisador responsável: Ronaldo Domingues Mansano
• Beneficiário: Marina Sparvoli de Medeiros
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microfabricação Corrosão por plasma
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao Por Plasma | Elementos Opticos Difrativos | Microfabricacao

Resumo

O projeto consiste principalmente em desenvolver e integrar processos para a fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa (fase e amplitude). Para os elementos ópticos difrativos a serem fabricados, precisam-se de etapas de limpeza de substrato, de deposição de filmes, de litografia e de corrosão úmida e por plasma. Uma grande parte dessas etapas deve ser otimizada dentro da seqüência de fabricação do dispositivo. Posteriormente, análises ópticas dos elementos ópticos difrativos, fabricados com esses processos, serão feitas. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

MEDEIROS, Marina Sparvoli de. Fabricação de elementos ópticos difrativos de modulação completa.. 2007. Dissertação de Mestrado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP/BC) São Paulo.