Desenvolvimento de micro-estruturas mecânicas sobre o silício através de corrosão do substrato pela superfície

• Processo: 99/11348-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Mestrado
• Data de Início da vigência: 01 de março de 2000
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2002
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Ioshiaki Doi
• Beneficiário: Roberto Ribeiro Neli
• Instituição Sede: Centro de Componentes Semicondutores (CCS). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Nitreto de silício
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao Umida | Membranas | Micro-Estruturas | Micro-Usinagem | Nitreto De Silicio

Resumo

Este projeto tem por objetivo o estudo da construção de micro-estruturas mecânicas sobre uma pastilha de silício a partir de um ataque químico úmido sobre a superfície da mesma. Tais estruturas representam a base para o desenvolvimento de micro-sensores e micro-atuadores térmicos e mecânicos. Uma vez que elas são obtidas sobre uma pastilha de silício utilizando técnicas convencionais de fabricação de circuitos integrados, a integração monolítica de circuitos eletrônicos e dispositivos mecânicos toma-se possível, permitindo conseqüentemente o desenvolvimento de microssistemas integrados e sensores inteligentes. Para isso, serão estudadas e caracterizadas: os problemas associados à obtenção da camada de nitreto de silício (SÍ3N4), que servirá de máscara no processo de corrosão do substrato; e soluções químicas úmidas que ataquem o substrato (silício) sem corroer significativamente as camadas de nitreto de silício e metal. Finalmente, serão desenvolvidos os layouts para a construção das mais diversas geometrias, como pontes, vigas, membranas, espirais, entre outras. (AU)

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

NELI, Roberto Ribeiro. Desenvolvimento de micro-estruturas mecanicas sobre o silicio atraves da corrosão do substrato pela superficie. 0000. Dissertação de Mestrado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação Campinas, SP.