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Efeitos de bolhas e de transporte na morfologia de silício corroído anisotropicamente

Processo: 98/14533-9
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Mestrado
Vigência (Início): 01 de março de 1999
Vigência (Término): 28 de fevereiro de 2001
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:José Roberto Sbragia Senna
Beneficiário:Alvimar da Silveira Louro
Instituição-sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia, Inovações e Comunicações (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
Assunto(s):Silício

Resumo

Será estudada a corrosão química do silício, dependente da orientação cristalográfica, visando o controle e a determinação quantitativa dos efeitos de: bolhas, configuração de fluxo, adição de oxidantes, e proximidade de outros sólidos; em superfícies planas e em cavidades. A superfície do silício será imageada in-situ e em tempo real por microscopia óptica, e caracterizada ex-situ por microscopia óptica, microscopia eletrônica de varredura e perfilometria. Será determinado o efeito das variáveis de processo no surgimento e estabilidade de rugosidade aleatória e de estruturas regulares, como pirâmides, corrugações e degraus. (AU)