Deposição e caracterização de filmes de BST visando sua utilização em defasadores inteligentes operando em 60GHz

• Processo: 12/07048-6
• Linha de fomento: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Vigência (Início): 01 de julho de 2012
• Vigência (Término): 31 de dezembro de 2015
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Ines Pereyra
• Beneficiário: Marcus Vinicius Pelegrini
• Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Ondas milimétricas

Resumo

Este projeto tem por objetivo principal a obtenção e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (BST), obtidos pela técnica de pulverização catódica reativa (sputtering reativo), visando explorar suas características ferroelétricas na fabricação de microssistemas eletromecânicos (MEMS), mais precisamente, defasadores sintonizáveis, baseados em linhas de transmissão coplanares, atuando em 60GHz

Publicações acadêmicas

(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

PELEGRINI, Marcus Vinicius. Deposição e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (Ba0,5Sr0,5(TiO3)) visando a sua utilização na fabricação de defasadores variáveis operando em 60 GHZ.. 2016. Tese de Doutorado - Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica São Paulo.