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Deposição e caracterização de filmes de BST visando sua utilização em defasadores inteligentes operando em 60GHz

Processo: 12/07048-6
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Doutorado
Vigência (Início): 01 de julho de 2012
Vigência (Término): 31 de dezembro de 2015
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Ines Pereyra
Beneficiário:Marcus Vinicius Pelegrini
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Microeletrônica   Ondas milimétricas

Resumo

Este projeto tem por objetivo principal a obtenção e caracterização de filmes de titanato de estrôncio e bário (BST), obtidos pela técnica de pulverização catódica reativa (sputtering reativo), visando explorar suas características ferroelétricas na fabricação de microssistemas eletromecânicos (MEMS), mais precisamente, defasadores sintonizáveis, baseados em linhas de transmissão coplanares, atuando em 60GHz

Publicações acadêmicas
(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)

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