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Fabricação e caracterização de sensores piezorresistivos baseados em filmes finos de DLC

Processo: 13/17045-7
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Doutorado
Vigência (Início): 01 de novembro de 2013
Vigência (Término): 31 de março de 2017
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
Pesquisador responsável:Marcos Massi
Beneficiário:Gabriela Leal
Instituição-sede: Instituto de Ciência e Tecnologia (ICT). Universidade Federal de São Paulo (UNIFESP). Campus São José dos Campos. São José dos Campos , SP, Brasil
Assunto(s):Sensores   Sistemas microeletromecânicos   Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)

Resumo

Este trabalho contempla o desenvolvimento de sensores piezorresistivos baseados em filmes finos de DLC dopados com diferentes elementos, que possibilitem sua aplicação em ambientes agressivos. Os filmes serão depositados pela técnica de sputtering, com a qual será realizada uma sistemática análise da influência das variáveis de controle do reator de deposição sobre as propriedades dos filmes em estudo. Os filmes que apresentarem valores mais adequados para o propósito deste projeto serão selecionados para que suas propriedades piezorresistivas sejam estudadas, e possam ser usados para a construção de sensores piezorresistivos.

Publicações científicas
(Referências obtidas automaticamente do Web of Science e do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores)
LEAL, GABRIELA; CAZALINI, ELISA M.; COSTA, DANIEL S.; CARDOSO, GUILHERME W. A.; MOTTA JUNIOR, JOSE ANDRE; GOMES, MARIANY L. M.; MESSMER, NIGEL R.; BRAZIL, TAYRA R.; GIACOMELLI, VALDERCI J.; REZENDE, MIRABEL C. The influence of morphological and structural aspects of synthetic graphites used in the aerospace area on their electrical and mechanical properties. MATERIALS RESEARCH EXPRESS, v. 5, n. 10 OCT 2018. Citações Web of Science: 0.
LEAL, G.; FRAGA, M. A.; RASIA, L. A.; MASSI, M. Impact of high N-2 flow ratio on the chemical and morphological characteristics of sputtered N-DLC films. SURFACE AND INTERFACE ANALYSIS, v. 49, n. 2, p. 99-106, FEB 2017. Citações Web of Science: 2.

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