Desenvolvimento de fabricação de dispositivos de ondas milimétricas em inovador substrato MnM

• Processo: 17/04586-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Programa Capacitação - Treinamento Técnico
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2017
• Data de Término da vigência: 30 de setembro de 2017
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Telecomunicações
• Pesquisador responsável: Gustavo Pamplona Rehder
• Beneficiário: Rogério Clementino Araújo de Alvarenga
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 11/18167-3 - RF MEMS em ondas milimétricas utilizando processo CMOS comercial, AP.JP
• Assunto(s): Substratos Inovação
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Circuitos passivos | Integração 3D | interposer | nanofio de cobre | ondas milimétricas | circutos passivos em ondas milimétricas

Resumo

Este projeto faz parte dos recentes esforços do Laboratório de Microeletrônica da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo (LME-USP), no desenvolvimento e fabricação de dispositivos de RF operando em ondas milimétricas (mmW). Embora a fabricação destes dispositivos RF utilize processos bem desenvolvidos, devido à grande inovação do substrato, até mesmo um simples procedimento de limpeza pode ser muito desafiador. O objetivo deste trabalho é obter métodos de fabricação confiáveis e reprodutíveis para a realização de circuitos de RF utilizado o substrato MnM. Baseado nos dispositivos de RF já desenvolvidos, os processos de fabricação serão melhorados e/ou desenvolvidos, desde uma simples limpeza até complexos processos para a liberação de MEMS. (AU)