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Estudo do efeito do nitrogênio nas propriedades de filme DLC obtido por PECVD

Processo: 17/12288-0
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de agosto de 2017
Vigência (Término): 31 de maio de 2018
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica
Pesquisador responsável:Luciana Sgarbi Rossino
Beneficiário:Larissa Solano de Almeida
Instituição-sede: Faculdade de Tecnologia de Sorocaba (FATEC Sorocaba). Centro Paula Souza (CEETEPS). Secretaria de Desenvolvimento Econômico (São Paulo - Estado). Sorocaba , SP, Brasil
Assunto(s):Nitrogênio   Desgaste abrasivo   Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)   Deposição química em fase de vapor assistida por plasma (PECVD)   Tribologia

Resumo

O grande interesse no uso de filmes de carbono tipo diamante (DLC) é justificado por suas notáveis propriedades mecânicas e tribológicas, porém sua elevada tensão interna dificulta a adesão do filme com o substrato. A incorporação de nitrogênio em filmes de aC:H causa um decréscimo da quantidade de átomos de carbono em estado de hibridização sp3, permitindo a obtenção de um filme de menor dureza porém menor redução de tensão interna, facilitando então a adesão do filme com o substrato. O objetivo deste trabalho é produzir filmes aC:H(N) em Ti6Al4V com diferentes quantidades de nitrogênio e verificar seu efeito na dureza, adesão e espessura do filme formado. O tratamento será realizado por PECVD sem e com diferentes quantidades de N2 adicionados ao gás de tratamento, a uma variação de potência de 15 a 150 W e 60 minutos de tratamento. Para a caracterização do filme serão utilizadas as técnicas de microscopia força atômica (AFM), Microscopia Eletrônica de Varredura (MEV), nanoindentação, perfilômetria, espectrômetria de infravermelho com transformada de Fourier (FTIR) e Espectroscopia RAMAN. Ensaios de microdesgaste abrasivo serão realizados para verificar se o filme formado foi capaz de melhorar as propriedades tribológicas do material estudado. (AU)

Publicações científicas
(Referências obtidas automaticamente do Web of Science e do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores)
ALMEIDA, L. S.; SOUZA, A. R. M.; COSTA, L. H.; RANGEL, E. C.; MANFRINATO, M. D.; ROSSINO, L. S. Effect of nitrogen in the properties of diamond-like carbon (DLC) coating on Ti6Al4V substrate. MATERIALS RESEARCH EXPRESS, v. 7, n. 6 JUN 2020. Citações Web of Science: 0.

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