Desenvolvimento e Otimização de Processo de Microfabricação em Salas Limpas

• Processo: 22/15141-8
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Programa Capacitação - Treinamento Técnico
• Data de Início da vigência: 01 de janeiro de 2023
• Data de Término da vigência: 31 de dezembro de 2023
• Área de conhecimento: Interdisciplinar
• Pesquisador responsável: Felippe Alexandre Silva Barbosa
• Beneficiário: Melissa Mederos Vidal
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Vinculado ao auxílio: 18/03474-7 - Estados não-clássicos da luz em chips, AP.JP
• Assunto(s): Fotônica integrada Informação quântica Microfabricação
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Fotônica Integrada | Informação Quântica | Microfabricação | Microfabricação

Resumo

O controle e a otimização de processos de microfabricação são essenciais para a produção de qualquer dispositivo fotônico integrado. Dentre estes processos, os mais importantes são a litografia e a corrosão direcional por plasma. Além destes dois processos, também são importantes as etapas de deposição de filmes finos, preparação das amostras pré-litografia e de caracterização das mesmas durante os diversos estágios de fabricação. Um dos primeiros objetivos deste projeto será acompanhar a instalação da máquina polidora mecânico-química (CMP), comprada com recursos do projeto EMU associado ao auxílio principal, e implementar os primeiros testes na máquina. Outras etapas relevantes serão a de caracterização do índice de refração dos filmes depositados em função da frequência da luz. Estas informações serão usadas simulações dos dispositivos e para outros equipamentos, como o medidor interferométrico de filmes finos. Além destes trabalhos específicos, o bolsista deverá se dedicar integralmente em apoiar os estudantes em todos os processos de microfabricação necessários aos seus respectivos projetos.