Processamento de amostras para estudo de propriedades eletricas de heteroestruturas semicondutoras.

• Processo: 06/52515-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Vigência (Início): 01 de dezembro de 2006
• Vigência (Término): 30 de novembro de 2007
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Iouri Poussep
• Beneficiário: Rodrigo Morales
• Instituição Sede: Instituto de Física de São Carlos (IFSC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil
• Assunto(s): Semicondutores Materiais nanoestruturados Fotolitografia
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Fotolitografia | Nanoestruturas | Semicondutores

Resumo

Planejamos estudar os processos envolvidos em fabricação de dispositivos semicondutores, tais como fotolitografia e ataque químico. Estes processos são considerados como uma parte da tecnologia "planar". Usando este procedimento vamos preparar estruturas à serem usadas em estudo de propriedades de transporte eletrônico em sistemas de baixa dimensionalidade - super-redes semicondutoras GaAs/AlGaAs. (AU)