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Estudos da corrosão anisotrópica do silício frente soluções de KOH contaminadas com sais metálicos

Processo: 03/11633-2
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de março de 2004
Vigência (Término): 31 de agosto de 2004
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica
Pesquisador responsável:Humber Furlan
Beneficiário:Felipe Jose Ferreira Sabino da Silva
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Microestruturas   Sistemas microeletromecânicos

Resumo

Objetivo: Estudar as diferentes taxas de ataque químico em diferentes planos cristalográficos do Si com soluções de KOH contendo diferentes contaminantes Introdução: A utilização do silício metálico como matéria prima para a indústria química tem crescido constantemente desde a descoberta da reação de "síntese direta" de organo-halogenosilanos. Este efeito poderá ser mais bem entendido a partir de informações das ações de elementos catalizadores na dissolução ou síntese do silício a partir de misturas de contaminantes metálicos (catalizadores). Dessa maneira, vemos que o estudo da variação da anisotropia poderá contribuir para que ocorra um processo de síntese direta do silício a baixas temperaturas. Metodologia: Estudo da teoria da corrosão anisotrópica, elaboração das amostras e soluções químicas, caracterizar as aostras corroídas com SEM, MO, e M. Confocal, analise dos dados obtidos e elaboração da monografia. (AU)