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Desenvolvimento de Micro-Acelerômetros Opto-Eletro-Mecânicos Baseados em Polímeros

Processo: 07/05616-9
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Vigência (Início): 01 de dezembro de 2007
Vigência (Término): 30 de junho de 2008
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
Pesquisador responsável:Ricardo Cury Ibrahim
Beneficiário:Janderson Rocha Rodrigues
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Microfabricação   Sistemas microeletromecânicos

Resumo

Este projeto de pesquisa trata da capacitação de um aluno de excelente desempenho na área de desenvolvimento de micro-sensores. O trabalho aborda praticamente todas as etapas de desenvolvimento de um tipo relativamente recente de micro-acelerômetro baseado em efeitos opto-eletro-mecânicos e fabricado em polímero. A etapa de projeto inclui a modelagem do sistema através de equacionamento analítico, e a simulação computacional utilizando as equações analíticas deduzidas de forma a encontrar o dimensionamento adequado para o dispositivo. A etapa de fabricação aborda métodos clássicos de microfabricação herdados da microeletrônica com algumas adaptações, e inclui a fabricação e montagem de diversos componentes estruturais usando fotopolímero: guia para propagação de luz de um laser ou suporte para fibra ótica; massa de prova suspensa por quatro molas; estrutura para fixação de um fotodiodo (sensor). A etapa de caracterização inclui métodos estáticos e dinâmicos convencionais para caracterização de acelerômetros, bem como alguns métodos de fotodetecção necessários para essa configuração. Por se tratar de um tipo recente de acelerômetro com inúmeras possibilidades de aplicação, este trabalho oferece a oportunidade de continuação como uma pesquisa de pós-graduação.