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Novos materiais para emissao de campo.

Processo: 03/05327-6
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
Vigência (Início): 01 de novembro de 2003
Vigência (Término): 31 de outubro de 2005
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Alaide Pellegrini Mammana
Beneficiário:Simone Camargo Trippe
Instituição-sede: Centro de Pesquisas Renato Archer (CENPRA). Ministério da Ciência, Tecnologia, Inovações e Comunicações (Brasil). Campinas , SP, Brasil
Assunto(s):Dispositivos eletrônicos   Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)   Pulverização catódica   Displays   Dióxido de estanho

Resumo

Neste projeto propomos investigar os DLCs (diamond-like carbon) obtidos pela técnica de sputtering RF em plasma de CF4 e CH4, e o SnO2 obtidos pela técnica de decomposição de vapores. Os filmes serão depositados em diferentes parâmetros de processo e em diferentes substratos. Serão caracterizados quanto a composição estequiométrica, concentração de flúor, morfologia, rugosidade, espessura, dureza, aderência, stress, índice de refração, transmitância ao visível e ao infravermelho, seletividade a ataque químico, condutividade elétrica e mecanismos de condução, permissividade dielétrica. O estudo da emissão por campo elétrico será feito em filmes de diferentes espessuras e rugosidade depositados sobre camadas de metal, como por exemplo Ti, W ou Au (catodos planares). Estruturas com pontas cilíndricas ou cônicas serão também desenvolvidas para o estudo da influência da geometria na emissão. O comportamento na emissão de elétrons por efeito de campo elétrico nos materiais estudados, será feita estabelecendo-se sua dependência com as características dos filmes e buscando as condições de processo que otimizem a emissão. Este projeto será realizado na Divisão de Mostradores de Informação do CenPRA onde estão disponíveis facilidades para a deposição e caracterização dos materiais a serem investigados. (AU)