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Utilização da tecnologia LTCC (low temperature cofired ceramics) para a fabricação de microvalvula híbrida adequada para microsistemas analíticos

Processo: 98/06471-3
Linha de fomento:Bolsas no Exterior - Pesquisa
Vigência (Início): 28 de agosto de 1998
Vigência (Término): 27 de dezembro de 1998
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
Pesquisador responsável:Mario Ricardo Gongora Rubio
Beneficiário:Mario Ricardo Gongora Rubio
Anfitrião: Jorge Santiago Aviles
Instituição-sede: Instituto de Pesquisas Tecnológicas S/A (IPT). Secretaria de Desenvolvimento Econômico (São Paulo - Estado). São Paulo , SP, Brasil
Local de pesquisa: University of Pennsylvania, Estados Unidos  

Resumo

Nesta fase da pesquisa, objeto do presente plano de pesquisa apresentado à FAPESP, abordaremos o projeto, desenvolvimento e fabricação de micro-válvula eletromagnética sem partes móveis, adequada para gases e líquidos, usando de forma híbrida as seguintes tecnologias: - LTCC de cerâmicas verdes - Filmes espessos - Silício e processos associados. (AU)