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Estudo e desenvolvimento de um amplificador fluidico miniaturizado para controle de fluxo de gás

Processo: 94/01302-8
Linha de fomento:Bolsas no Exterior - Pesquisa
Vigência (Início): 22 de agosto de 1994
Vigência (Término): 21 de fevereiro de 1996
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Circuitos Elétricos, Magnéticos e Eletrônicos
Pesquisador responsável:Rogério Furlan
Beneficiário:Rogério Furlan
Anfitrião: Jay N Zemel / Jorge J Santiago Aviles
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Local de pesquisa : University of Pennsylvania, Estados Unidos  
Assunto(s):Sensores   Atuadores   Amplificadores

Resumo

Realizamos, ao longo deste trabalho de pós-doutoramento, o estudo de dispositivos microfabricados em silício (silicon micromachining). Amplificadores fluídicos miniaturizados (microfluidic amplifiers) foram projetados, implementados com tecnologia microeletrônica (técnica de Bulk micromachining) e caracterizados visando-se o controle de fluxo de gases. (AU)