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Implementação de um sensor óptico integrado de pressão baseado no interferômetro Mach-Zenhder

Processo: 99/08179-0
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Mestrado
Vigência (Início): 01 de novembro de 1999
Vigência (Término): 31 de outubro de 2001
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Nilton Itiro Morimoto
Beneficiário:Acácio Luiz Siarkowski
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil

Resumo

Este trabalho tem como objetivo a implementação de um sensor óptico de pressão baseado no Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ), dando continuidade aos estudos previamente realizados por Bulla, D. A. P. (1), que desenvolveu e caracterizou filmes finos de óxidos de silício e nitreto de silício para a fabricação de guias ópticos e sensores. Primeiramente, será realizado um levantamento das teorias a respeito dos processos CVD (Chemical Vapour Depositon), obtenção de filmes finos, guiamento óptico, guias ópticos, Interferômetro Mach-Zehnder (IMZ) e sensores de pressão integrados. Em seguida, projetaremos o dispositivo baseando-se em parâmetros estruturais previamente estabelecidos por Bulla, D. A. P. (1) e em simulações que serão realizadas em um conjunto de programas dedicado à simulação de guiamento óptico, Com base no projeto, poderemos confeccionar as máscaras que serão usadas para o processamento do dispositivo. Os dispositivos obtidos poderão ser testados nos laboratórios de caracterização óptica e caracterização de sensores disponíveis no Laboratório de Sistemas Integráveis (LSI). (AU)