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Determinação experimental do diagrama de velocidade de corrosão química anisotrópica do silício em KOH, assistida por ultrassom

Processo: 00/06570-3
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Mestrado
Vigência (Início): 01 de setembro de 2000
Vigência (Término): 31 de agosto de 2002
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:José Roberto Sbragia Senna
Beneficiário:Enrique Klai de França
Instituição-sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia, Inovações e Comunicações (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
Assunto(s):Corrosão dos materiais   Corrosão anisotrópica   Ultrassom

Resumo

Será instalado um processo básico de oxidação úmida para formação de SiO2 usado como máscara em corrosão química anisotrópica do silício. Amostras apropriadamente mascaradas serão corroídas em um reator que permite o uso ou não de ultrassom, além de temperatura e agitação controladas. As máscaras utilizadas permitirão obter os pontos de máximo e mínimo locais do diagrama de velocidade de corrosão em função de direção cristalina. Será determinado o efeito de ultrassom nesse diagrama. (AU)