Busca avançada
Ano de início
Entree

Análise quantitativa na fidelidade de microestruturas em réplicas de diamante e recobrimentos de DLC

Processo: 02/00765-2
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Doutorado
Vigência (Início): 01 de julho de 2002
Vigência (Término): 30 de junho de 2005
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
Pesquisador responsável:Maria Cecília Barbosa da Silveira Salvadori
Beneficiário:Deilton Reis Martins
Instituição-sede: Instituto de Física (IF). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Diamante

Resumo

Uma forma de utilizar o diamante para fabricação de microestruturas é utilizar o silício com molde: são criadas microestruturas em silício, então um filme de diamante é depositado sobre esse substrato e, então, o silício é corroído, obtendo-se uma réplica da microestrutura. Nessa técnica fica clara a importância da fidelidade morfológica da réplica de diamante, com relação ao molde de origem. Assim, uma das propostas deste projeto é o de analisar quantitativamente a fidelidade de reprodução de microestruturas em filmes de diamante, utilizando microestruturas fabricadas em silício. Outro aspecto que será abordado é a fidelidade morfológica de microestruturas após a deposição de DLC sobre microestruturas em silício, pois o DLC é um material muito interessante para ser utilizado como recobrimento protetor em micro-dispositivos fabricados em silício. (AU)