| Processo: | 98/15851-4 |
| Linha de fomento: | Bolsas no Brasil - Doutorado |
| Vigência (Início): | 01 de março de 1999 |
| Vigência (Término): | 28 de fevereiro de 2003 |
| Área do conhecimento: | Ciências Exatas e da Terra - Física - Áreas Clássicas de Fenomenologia e suas Aplicações |
| Pesquisador responsável: | Lucila Helena Deliesposte Cescato |
| Beneficiário: | Cristiano Monteiro de Barros Cordeiro |
| Instituição-sede: | Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Fotolitografia Holografia Filmes finos |
Resumo O objetivo deste projeto de doutorado é o estudo dos fenômenos e mecanismos envolvidos no processo de foto-gravação em fotorresinas positivas visando se obter o controle dos parâmetros ópticos e geométricos das estruturas gravadas. A qualidade e controle da geometria das estruturas gravadas em relevo nas fotorresinas é fundamental para processos de micro-litografia e para a fabricação de componentes ópticos difrativos, além de se constituir num problema físico-químico muito interessante, envolvendo desde as mudanças nas propriedades ópticas dos filmes durante a exposição até as reações de dissolução das resinas em determinados solventes. (AU) | |