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Estudo do mecanismo de fotogravação em fotorresinas positivas utilizando-se exposições holográficas

Processo: 98/15851-4
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Doutorado
Vigência (Início): 01 de março de 1999
Vigência (Término): 28 de fevereiro de 2003
Área do conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Áreas Clássicas de Fenomenologia e suas Aplicações
Pesquisador responsável:Lucila Helena Deliesposte Cescato
Beneficiário:Cristiano Monteiro de Barros Cordeiro
Instituição-sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
Assunto(s):Fotolitografia   Holografia   Filmes finos

Resumo

O objetivo deste projeto de doutorado é o estudo dos fenômenos e mecanismos envolvidos no processo de foto-gravação em fotorresinas positivas visando se obter o controle dos parâmetros ópticos e geométricos das estruturas gravadas. A qualidade e controle da geometria das estruturas gravadas em relevo nas fotorresinas é fundamental para processos de micro-litografia e para a fabricação de componentes ópticos difrativos, além de se constituir num problema físico-químico muito interessante, envolvendo desde as mudanças nas propriedades ópticas dos filmes durante a exposição até as reações de dissolução das resinas em determinados solventes. (AU)

Publicações acadêmicas
(Referências obtidas automaticamente das Instituições de Ensino e Pesquisa do Estado de São Paulo)
CORDEIRO, Cristiano Monteiro de Barros. Mistura de ondas para caracterização de redes em relevo e materiais fotossensíveis. 2003. Tese de Doutorado - Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Fisica Gleb Wataghin.

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