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Estudo e caracterização de filmes de carbono do tipo diamante (diamond like carbon-DLC) depositados pela técnica de sputtering reativo

Processo: 99/04854-5
Linha de fomento:Bolsas no Brasil - Doutorado
Vigência (Início): 01 de outubro de 1999
Vigência (Término): 30 de setembro de 2003
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Ronaldo Domingues Mansano
Beneficiário:Simone Camargo Trippe
Instituição-sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
Assunto(s):Deposição de filmes finos   Filmes finos de carbono tipo diamante (DLC)   Pulverização catódica   Semicondutores   Dispositivos ópticos   Plasma (microeletrônica)

Resumo

Neste trabalho serão desenvolvidos processos de deposição de filmes de carbono tipo diamante (DLC) por sputtering reativo que possam ser aplicados tanto como dielétricos em dispositivos semicondutores, como filtros e guias de onda em dispositivos ópticos. Estes processos devem ser compatíveis com os processos de microeletrônica e com os materiais usados em dispositivos ópticos (quartzo e/ou policarbonato). (AU)