Estudo sobre a influencia dos aditivos nitrogenio e fluor nas propriedades estruturais, eletro-opticas e eletricas dos filmes de carbono tipo-diamante (dlc).

• Processo: 03/08250-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado
• Vigência (Início): 01 de dezembro de 2003
• Vigência (Término): 30 de novembro de 2007
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Marcos Massi
• Beneficiário: Marciel Guerino
• Instituição Sede: Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA). Ministério da Defesa (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Pulverização catódica Técnicas de caracterização elétrica Microeletrônica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao Eletrica | Dispositivos Eleronicos | Magnetron Sputtering | Microeletronica | Propriedades Eletro Opticas

Resumo

Este projeto tem por objetivo principal estudar as alterações que podem ocorrer nas propriedades físico-químicas, eletro-ópticas e elétricas dos filmes DLC provocadas pela incorporação de nitrogênio e flúor aos mesmos. A deposição será realizada por sputtering reativo por meio uma descarga elétrica de rádio-freqüência com cátodo do tipo magnetron. Através dessa técnica de deposição será estudada a influência de alguns parâmetros de deposição nas qualidades dos filmes. Após a obtenção dos filmes será realizada as técnicas de espectroscopia Raman e Retroespalhamento de Rutherford (RBS), para assim realizarmos uma análise mais completa a respeito das mudanças que haverão de ocorrer nas propriedades eletro-ópticas e elétricas devido à incorporação de nitrogênio e flúor no filme DLC. Para o estudo das propriedades eletro-ópticas serão realizadas medidas de fotocondutividade, fotosensibilidade, fotoemissão e fotoluminescência. Para o estudo das propriedades elétricas serão fabricados diodos, transistores e capacitores. Ao término deste projeto de pesquisa será realizada uma análise correlacionando as condições de deposição dos filmes e as suas características físico-químicas, eletro-ópticas e elétricas de modo a encontrar uma janela de operação do reator que possibilite a produção desses filmes com características adequadas as quais os tornem materiais alternativos para as áreas de microeletrônica e fotônica. (AU)