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Silica vitrea de alto desempenho óptico produzida por método de aerosol em chama para componentes fotônicos

Autor(es):
Juliana Santiago dos Santos
Número total de Autores: 1
Tipo de documento: Tese de Doutorado
Instituição: Universidade Estadual de Campinas. Faculdade de Engenharia Mecânica
Data de defesa:
Membros da banca:
Armando Hideki Shinohara; Delson Torikai; Antonio Jose Ramirez; Paulo Roberto Mei
Orientador: Carlos Kenichi Suzuki
Resumo

Neste trabalho estudou-se o efeito da variação dos parâmetros do processo VAD (Vaporphase Axial Deposition) sobre as propriedades estruturais e ópticas da sílica vítrea visando o desenvolvimento de um material de alto desempenho óptico empregado no sistema óptico de equipamentos litográficos. As propriedades estruturais das preformas foram caracterizadas por microscopia eletrônica de varredura (MEV), espalhamento de raios-X a baixo ângulo (SAXS) e espectroscopia de absorção de estrutura fina de raios-X (XAFS). Absorção de raios-X (ARX) e tratamento de imagem digital foram utilizados para a obtenção da distribuição radial da densidade e da densidade média da sílica porosa, respectivamente. As propriedades ópticas foram determinadas por interferometria, espectroscopia óptica, espectrometria de polarização, espectroscopia Raman, espectroscopia no infravermelho e espectrofotometria de absorção óptica. Como principal resultado, obteve-se sílica vítrea com homogeneidade radial da estrutura, Δn ≤ 3 ppm, birrefringência ≤ 2 nm/cm e transmitância de 87 % em γ ≤ 400 nm quando consolidada em atmosfera de He podendo superar 90 % quando consolidadas em vácuo. Este desempenho óptico foi obtido em até 95 % do diâmetro da preforma sem a necessidade de etapas adicionais, como o recozimento e a extração da região do diâmetro externo da preforma (geralmente a parte heterogênea) através de corte, reduzindo significativamente o tempo e custo de fabricação da sílica. (AU)

Processo FAPESP: 05/54797-0 - Sílica vítrea de alto desempenho óptico produzida por método de aerosol em chama para componentes fotônicos
Beneficiário:Juliana Santiago dos Santos
Linha de fomento: Bolsas no Brasil - Doutorado