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APARATO E MÉTODO PARA CRISTALIZAÇÃO DE FILMES FINOS UTILIZANDO FORNO MICROONDAS DOMÉSTICO

Tipo de documento:Patente
Inventor(es): Carlos Alberto Paskocimas; Elson Longo da Silva; José Arana Varela; Edson Roberto Leite; Jomar Sales Vasconcelos; Nazaré do Socorro Lemos Silva Vasconcelos; Jose Wilson Gomes; Sonia Maria Zanetti
Depositante: Fundação de Amparo à Pesquisa do Estado de São Paulo (FAPESP)
Data do depósito: 10 de julho de 2003
Registro INPI:
PI0302339-7 - Consulta INPI
IPC: H01L 21/02
Resumo

"APARATO E MÉTODO PARA CRISTALIZAÇÃO DE FILMES FINOS UTILIZANDO FORNO MICROONDAS DOMÉSTICO". A invenção descreve um aparato para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico, que compreende um porta amostra (210) para colocação de elementos absorvedores de microondas ou susceptores (212), uma amostra (211), um tubo (241) para entrada de gás, um termopar (231) para coleta de temperatura e um protetor térmico (213). A invenção ainda descreve um método para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico que compreende as etapas de: deposição de material amorfo por método químico ou físico no substrato, compondo a amostra; colocação da amostra é dentro de um porta amostra do aparato para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico acima; colocação do aparato é colocado dentro da cavidade de um forno microondas doméstico; absorção pelo susceptor absorve a energia em microondas e a transformação da mesma em calor que então transferido para a amostra; manutenção pelo protetor térmico do calor na amostra, não permitindo a transferência de calor do aparato para a cavidade do forno microondas; utilização de um controlador de temperatura para controlar o processo de tratamento térmico da amostra sendo os valores de temperatura, rampa de aquecimento e tempo são valores pré-determinados e são utilizados como dados para determinação dos parâmetros de controle utilizados pelo controlador de temperatura e tempo durante o programa de tratamento térmico; manutenção do valor de temperatura pré-determinada para o tratamento térmico após o momento em que esta temperatura é alcançada, este valor de temperatura sendo mantido durante o período de tempo pré-determinado; e obtenção do filme fino após o resfriamento do susceptor.


Processo FAPESP: 02/11415-2 - Aparato e método para cristalização de filmes finos utilizando forno microondas doméstico
Beneficiário:Elson Longo da Silva
Pesquisador responsável:Elson Longo da Silva
Instituição: Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). Centro Multidisciplinar para o Desenvolvimento de Materiais Cerâmicos (CMDMC)
Linha de fomento: Auxílio à Pesquisa - Programa de Apoio à Propriedade Intelectual (PAPI/Nuplitec)