Resumo
O objetivo deste trabalho é produzir, caracterizar e otimizar ligas amorfas de SiOxNy obtidas por PECVD com diferente composição química e correlacionar suas propriedades estruturais, ópticas e morfológicas com as condições de deposição. A proposta é dar continuidade a trabalhos prévios desenvolvidos no mestrado que demonstraram a viabilidade de controlar a composição química e propriedad…