Resumo
Neste projeto propomos investigar os DLCs (diamond-like carbon) obtidos pela técnica de sputtering RF em plasma de CF4 e CH4, e o SnO2 obtidos pela técnica de decomposição de vapores. Os filmes serão depositados em diferentes parâmetros de processo e em diferentes substratos. Serão caracterizados quanto a composição estequiométrica, concentração de flúor, morfologia, rugosidade, espessura…