Resumo
Planejamos estudar os processos envolvidos em fabricação de dispositivos semicondutores, tais como fotolitografia e ataque químico. Estes processos são considerados como uma parte da tecnologia "planar". Usando este procedimento vamos preparar estruturas à serem usadas em estudo de propriedades de transporte eletrônico em sistemas de baixa dimensionalidade - super-redes semicondutoras GaA…