Resumo
Este projeto faz parte dos recentes esforços do Laboratório de Microeletrônica da Escola Politécnica da Universidade de São Paulo (LME-USP), no desenvolvimento e fabricação de dispositivos de RF operando em ondas milimétricas (mmW). Embora a fabricação destes dispositivos RF utilize processos bem desenvolvidos, devido à grande inovação do substrato, até mesmo um simples procedimento de li…