Resumo
O objetivo deste projeto é aperfeiçoar processos existentes de microfabricação empregados na produção e encapsulamento de acelerômetros capacitivos em micro sistemas eletro-mecânicos (MEMS). O foco será em processos de corrosão para o desenvolvimento de microestruturas de alta razão de aspecto (HAR - High Ascpect Ratio) usando as instalações disponíveis dos laboratórios do IPT no Brasil. …