- Auxílios pontuais (curta duração)
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ORCID
Felipe Boechat Mazzi em auxílios à pesquisa e bolsas apoiadas pela FAPESP.
Bolsas no país
- Otimização da litografia por feixes de elétrons para fabricação de guias de onda e cavidades óticas, BP.IC
Resumo
A litografia por feixe de elétrons será parte central do processo de fabricação associado ao auxílio jovem pesquisador em centros emergentes original. Neste tipo de litografia, um feixe de elétrons é focalizado e varrido sobre a amostra, o que escreve um padrão no resiste (máscara de litografia). O controle e a otimização o desta etapa de fabricação e essencial para garantir a qualidad...
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