Resumo
O controle e a otimização de processos de microfabricação são essenciais para a produção de qualquer dispositivo fotônico integrado. Dentre estes processos, os mais importantes são a litografia e a corrosão direcional por plasma. Além destes dois processos, também são importantes as etapas de deposição de filmes finos, preparação das amostras pré-litografia e de caracterização das mesmas …