Graduando em Física pela Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Áreas de interesse incluem Fotônica Quântica Integrada em Niobato de Lítio e Óptica Quântica. (Fonte: Currículo Lattes)
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A corrosão por plasma é parte essencial do processo de microfabricação usando filmes finos, pois permite a corrosão em uma direção preferencial. Vamos usar corrosão por plasma RIE e ICP para produzir guias de onda e cavidades óticas em filmes finos de nitreto de silício e niobato de lítio.
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CV Lattes
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