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(Referência obtida automaticamente do Web of Science, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores.)

Estimation of the thickness and the optical parameters of several stacked thin films using optimization

Texto completo
Autor(es):
Andrade, Ricardo [1] ; Birgin, Ernesto G. [1] ; Chambouleyron, Ivan [2] ; Martinez, Jose Mario [3] ; Ventura, Sergio D. [4]
Número total de Autores: 5
Afiliação do(s) autor(es):
[1] Univ Sao Paulo, Dept Comp Sci, IME, BR-05508900 Sao Paulo - Brazil
[2] Univ Estadual Campinas, Inst Phys, Dept Appl Phys, BR-13083970 Campinas, SP - Brazil
[3] Univ Estadual Campinas, IMECC, Dept Appl Math, BR-13081970 Campinas, SP - Brazil
[4] Fed Rural Univ Rio Janeiro, ICE, Dept Math, BR-23890000 Seropedica, RJ - Brazil
Número total de Afiliações: 4
Tipo de documento: Artigo Científico
Fonte: APPLIED OPTICS; v. 47, n. 28, p. 5208-5220, OCT 1 2008.
Citações Web of Science: 13
Resumo

The reverse engineering problem addressed in the present research consists of estimating the thicknesses and the optical constants of two thin films deposited on a transparent substrate using only transmittance data through the whole stack. No functional dispersion relation assumptions are made on the complex refractive index. Instead, minimal physical constraints are employed, as in previous works of some of the authors where only one film was considered in the retrieval algorithm. To our knowledge this is the first report on the retrieval of the optical constants and the thickness of multiple film structures using only transmittance data that does not make use of dispersion relations. The same methodology may be used if the available data correspond to normal reflectance. The software used in this work is freely available through the PUMA Project web page (http://www.ime.usp.br/similar to egbirgin/puma/). (C) 2008 Optical Society of America (AU)

Processo FAPESP: 06/53768-0 - Métodos computacionais de otimização
Beneficiário:José Mário Martinez Perez
Linha de fomento: Auxílio à Pesquisa - Temático
Processo FAPESP: 06/51827-9 - Otimização global em problemas de programação não linear
Beneficiário:Ernesto Julián Goldberg Birgin
Linha de fomento: Bolsas no Exterior - Pesquisa