Resumo
O projeto proposto é uma contribuição para o desenvolvimento tecnológico da micro e nano eletrônica no Brasil, uma vez que pretende pesquisar dispositivos semicondutores avançados. Tratam-se de estruturas de transistores promissoras de dimensões manométricas estruturas planares com óxido enterrado extremamente finos denominadas UTBOX (Ultra-Thin Buried Oxide), dispositivos não planares de…