| Processo: | 07/04327-3 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado |
| Data de Início da vigência: | 01 de outubro de 2007 |
| Data de Término da vigência: | 30 de setembro de 2010 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Ines Pereyra |
| Beneficiário: | Katia Franklin Albertin Torres |
| Instituição Sede: | Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil |
| Assunto(s): | Sistemas microeletromecânicos Pulverização catódica Dióxido de titânio |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | dielétricos de alto k | Mems | opto eletronica | Óxido de Titânio | oxinitreto de titânio | RF magnetron sputtering | Estudo de novos materiais e dispositivos |
Resumo Este trabalho visa a deposição e caracterização de filmes de óxido de titânio (TiO2) e oxinitreto de titânio (TiOxNy) com diferentes concentrações de nitrogênio. A idéia é correlacionar as propriedades estruturais, elétricas, dielétricas, ópticas e a estabilidade termodinâmica com a composição química do material. Esta proposta vai de encontro com as linhas de pesquisa em dispositivos semicondutores, óptica integrada e de dispositivos micro-eletro mecânicos (MEMS) do Grupo de Novos Materiais e Dispositivos (GNMD) da Escola Politécnica da USP (onde será realizado este projeto) contempladas no projeto Temático FAPESP (Processo No 00/10027-3) ao qual este pós-doutorado estará vinculado. | |
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