Empacotamento eletromecânico smart de microsensores de pressão piezoresistivos uti...
Empacotamento eletromecânico de sensores de pressão piezorresistivos isolados do m...
Resumo
Os transdutores de pressão baseados em microssensores de silício já são uma realidade tecnológica e constituem uma verdadeira revolução para diferentes segmentos industriais, como o automotivo, médico, biomédico, de controle etc. O componente principal do transdutor é um microssensor de pressão de silício, cujo design e fabricação dependem de sua aplicação. É impossível desenvolver vários tipos diferentes de microssensores de pressão, a médio prazo, no Brasil. As atividades de pesquisa desse projeto vêm sendo desenvolvidas há cerca de cinco anos e atingiram o ponto em que os resultados obtidos encorajam a sua exploração industrial. A proposta é projetar e desenvolver empacotamento eletromecânico miniaturizado para o encapsulamento de microssensores de pressão de silício adquiridos no exterior, conformando assim o transdutor de pressão. O microssensor será montado sobre uma plataforma de cerâmica confeccionada com tecnologia de filme espesso. Em princípio, serão desenvolvidos dois protótipos exploratórios, denominados tipo A e tipo B. O tipo A utiliza um microssensor de pressão fabricado com tecnologia ultramoderna e, nesse caso, o usuário deve prover a circuitaria para o condicionamento do sinal padrão para o seu uso específico. O tipo B é um transdutor descartável, cujo chip é fabricado também com tecnologia de ponta, de altíssimo desempenho, especialmente projetado para preencher todos os requisitos exigidos pela instrumentação médica. O sensor de pressão deve ser compensado e calibrado utilizando-se laser trimming de resistores a filme espesso. O transdutor integra um chip de alta performance tolerante à radiação, com circuitaria de compensação térmica e calibração, e um gel de proteção numa cápsula de baixo custo. (AU)
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