Medição de tensões residuais em filmes finos durante o processo de deposição

• Processo: 09/05081-3
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de junho de 2009
• Data de Término da vigência: 31 de maio de 2011
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Metalurgia Física
• Pesquisador responsável: Roberto Martins de Souza
• Beneficiário: Roberto Martins de Souza
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Tensão residual Filmes finos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Filmes finos | Medidas in-situ | Tensões residuais | Tensões Residuais

Resumo

Este projeto tem por objetivo a construção de um equipamento para medir o nível de tensões residuais em filmes finos durante a deposição, de forma in-situ. Estas medições proporcionarão um melhor entendimento do processo de deposição, tanto em situações em que há variação dos parâmetros selecionados ao longo do tempo, como quando os parâmetros são mantidos constantes. (AU)