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Tratamento de resíduos químicos

Resumo

Em nosso laboratório realizamos estudos sobre a síntese e caracterização de filmes finos amorfos de compostos do tipo III-V, em especial o arsenieto de gálio, com a finalidade de otimizar as propriedades eletrônicas dos mesmos. A preparação dos filmes é realizada utilizando as técnicas de evaporação flash e pulverização católica (sputtering) de rádio frequência. A utilização desta técnica para a obtenção dos filmes finos gera resíduos gasosos, líquidos e sólidos. Existe um sistema de segurança interno ao laboratório para monitoramento dos resíduos gasosos, protegendo os usuários internos contra os gases tóxicos produzidos. Porém não existe controle ou tratamento dos resíduos lançados no meio ambiente. O correto tratamento destes resíduos, compreende a passivação e a monitoração dos elementos gasosos tóxicos (em especial a arsina AsH3), o correto dos resíduos sólidos, e a passivação dos solventes líquidos para a limpeza das câmaras deposição. (AU)

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