Simulação da detecção de elétrons secundários em um microscópio eletrônico de varredura

• Processo: 92/01899-9
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 1992
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 1993
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física da Matéria Condensada
• Pesquisador responsável: Carlos Alberto Ribeiro
• Beneficiário: Carlos Alberto Ribeiro
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Microscopia eletrônica Microscopia eletrônica de varredura Simulação Ciência da computação Elétrons

Resumo

No presente trabalho, pretendemos desenvolver o tratamento computacional necessário para calcular a distribuição do potencial elétrico dentro da câmara do microscópio eletrônico de varredura (MEV), simular o comportamento dos elétrons de baixas energias, a partir de suas trajetórias clássicas e, com estas informações obter a função de captação Fc (relação entre elétrons coletados e os emitidos pela amostra para uma dada configuração de potenciais) do sistema. De posse de Fc, corrigir o sinal medido e conhecer a intensidade de corrente de es, como se fosse usado um detector de calota total; pois, nos MEV's existentes, o detector apresenta uma geometria própria para captar, em determinado ângulo sólido, uma amostragem representativa de todos os elétrons emitidos e, finalmente, determinar a distribuição de energia dos elétrons emitidos. (AU)